РЕАКТИВТІ МАГНЕТРОНДЫ ШАШЫРАТУ ӘДІСІМЕН АЛЫНҒАН TINO ҚАБЫҚШАЛАРЫНЫҢ ҚҰРЫЛЫМЫ МЕН ҚАСИЕТТЕРІ
А. Б. Кеңесбеков, А. К. Сейтханова, А. Серікбайқызы, М. Б. Баяндинова, Л. С. Каирбаева
Source record
Source: Crossref
Published: Sep 30, 2026
DOI: 10.48081/btouphmath3.2026/152-171
Open original source ↗Source abstract
TiNO қабықшалары жоғары биоүйлесімділігі, коррозиялық ортаға тұрақтылығы және жеткілікті механикалық сипаттамалары арқасында жүрек-қан тамырлары стенттері мен өзге де медициналық имплантаттардың беттерін түрлендіруге арналған перспективалы материалдардың қатарына жатады. Зерттеудің негізгі мақсаты – реактивті магнетронды шашырату жағдайында алынған TiNO қабықшаларының құрылымдық, морфологиялық және механикалық сипаттамаларына субстратқа берілетін теріс ығысу кернеуінің ықпалын жан-жақты бағалау. Қабықшалар AISI 316L тот баспайтын болаттан жасалған негіздерге Ar:N₂:O₂ газ ортасында 99,99 % тазалықтағы титан нысанасын қолдана отырып, 0-ден –150 В-қа дейінгі теріс ығысу кернеулерінде тұндырылды. Жұмыс барысында тұндыру жылдамдығы, фазалық құрамы, микроқұрылымы, қаттылығы, адгезиялық беріктігі және беттің суланғыштығы зерттелді. XRD нәтижелері теріс ығысу кернеуінің жоғарылауымен TiN фазасының алдымен TiNO оксинитридіне, одан кейін TiO₂ анатаза және рутил фазаларына ауысатынын көрсетті. Бұл құбылыс иондық бомбалау энергиясының қабықшаның кристалдық құрылымы мен фазалық құрамын қалыптастырудағы шешуші әсерін көрсетеді. Қаттылықтың ең жоғары мәні 430 HV, ал адгезиялық беріктіктің критикалық жүктемесі 20–25 Н болып, –50 В режимінде алынған үлгіде тіркелді. Жанасу бұрышының нәтижелері зерттелген барлық қабықшалардың гидрофильді екенін көрсетті. Бұл олардың жасушалардың бетке бекінуіне қолайлы болуы және биомедициналық бағыттағы қолдану мүмкіндігін көрсетеді. Алынған деректер TiNO қабықшаларының қасиеттерін технологиялық параметрлер арқылы реттеу медициналық имплантаттардың пайдалану сенімділігі мен қызмет ету мерзімін арттыруға мүмкіндік беретінін көрсетеді. Кілтті сөздер: TiNO қабықшасы, реактивті магнетронды шашырату, ығысу кернеуі, фазалық құрам, қаттылық.
Evidence graph
No public relationships recorded yet.
Integrity note: This page is a factual metadata record created by deterministic ingestion. It is not a claim that the work moves a mathematical frontier or has been independently verified.